हाल ही में,डच लिथोग्राफी की दिग्गज कंपनी एएसएमएल ने घोषणा की कि वह इंटेल को अपनी नई उच्च संख्यात्मक एपर्चर (हाईएनएईयूवी) चरम पराबैंगनी लिथोग्राफी मशीन देने को प्राथमिकता देगी।बताया गया है कि,प्रत्येक नई मशीन की लागत $300 मिलियन से अधिक है, जो कंप्यूटर चिप निर्माताओं को छोटे, तेज़ अर्धचालक का उत्पादन करने में मदद करता है।
एएसएमएल के आधिकारिक सोशल मीडिया अकाउंट ने घटनास्थल की एक तस्वीर पोस्ट की। जैसा कि आप चित्र में देख सकते हैं,लिथोग्राफी मशीन का एक हिस्सा एक सुरक्षात्मक बॉक्स में रखा गया है। लाल रिबन से बंधा यह बॉक्स नीदरलैंड के आइंडहोवन स्थित मुख्यालय से भेजे जाने के लिए तैयार है।
"एक दशक का अग्रणी विज्ञान और सिस्टम इंजीनियरिंग एक श्रद्धांजलि का हकदार है! हम इंटेल को अपनी पहली उच्च संख्यात्मक एपर्चर ईयूवी लिथोग्राफी मशीन देने के लिए उत्साहित और गौरवान्वित हैं।"एएसएमएल ने कहा।
यह समझा जाता है कि उच्च संख्यात्मक एपर्चर चरम पराबैंगनी लिथोग्राफी मशीन इकट्ठे होने पर एक ट्रक से बड़ी होती है और परिवहन के लिए 13 बड़े कंटेनरों सहित 250 अलग-अलग बक्से में पैक करने की आवश्यकता होती है।
अनुमान है कि इस लिथोग्राफी मशीन का उपयोग 2026 या 2027 में शुरू होने वाले वाणिज्यिक चिप निर्माण के लिए किया जाएगा।
सार्वजनिक जानकारी यह दर्शाती हैएनए संख्यात्मक एपर्चर लिथोग्राफी मशीन के ऑप्टिकल सिस्टम का एक महत्वपूर्ण संकेतक है, जो सीधे लिथोग्राफी के वास्तविक रिज़ॉल्यूशन और उच्चतम प्राप्य प्रक्रिया नोड को निर्धारित करता है।
सामान्यतया, धातु अंतर 30nm से कम हो जाने के बाद, यानी, संबंधित प्रक्रिया नोड 5nm से अधिक हो जाता है, कम संख्यात्मक एपर्चर लिथोग्राफी मशीन का रिज़ॉल्यूशन पर्याप्त नहीं है, और EUV डबल एक्सपोज़र या पैटर्नशेपिंग तकनीक का उपयोग केवल सहायता के लिए किया जा सकता है।
इससे न केवल लागत बहुत बढ़ जाएगी, बल्कि उपज दर भी कम हो जाएगी। इसलिए, उच्च संख्यात्मक एपर्चर आवश्यक हो जाता है।
ASML ने सितंबर में घोषणा की थी कि वह इस साल के अंत तक पहली उच्च संख्यात्मक एपर्चर EUV लिथोग्राफी मशीन, मॉडल "ट्विनस्कैनEXE:5000" शिप करेगी, जो 2nm प्रक्रिया और और भी अधिक उन्नत चिप्स का निर्माण कर सकती है।