अफवाहों के जवाब में कि टीएसएमसी रूढ़िवादी है और अगली पीढ़ी के लिथोग्राफी उपकरणों में निवेश करने को तैयार नहीं है, टीएसएमसी के अध्यक्ष वेई झेजिया ने हाल ही में एक शेयरधारक बैठक में अफवाहों का खंडन करते हुए कहा कि उन्होंने एक हाई-एनए ईयूवी लिथोग्राफी मशीन खरीदी है और इसे विकसित करने के लिए कड़ी मेहनत कर रहे हैं, लेकिन लागत संबंधी विचारों के कारण, इसे इस स्तर पर बड़े पैमाने पर उत्पादन में नहीं लगाया जाएगा।एएसएमएल द्वारा विकसित नवीनतम हाई-एनए ईयूवी लिथोग्राफी मशीन की इकाई कीमत 380 मिलियन अमेरिकी डॉलर से 400 मिलियन अमेरिकी डॉलर है, जो वर्तमान मुख्यधारा ईयूवी उपकरण की कीमत से दोगुनी से भी अधिक है।वेई झेजिया ने स्वीकार किया कि बड़े पैमाने पर उत्पादन नहीं होने का मुख्य कारण यह है कि उपकरण बहुत महंगे हैं।
टीएसएमसी की रणनीति सबसे पहले अपने मौजूदा ईयूवी उपकरण का अच्छा उपयोग करना है। वेई झेजिया ने इस बात पर जोर दिया कि कई पैटर्निंग प्रौद्योगिकियों के साथ संयुक्त मौजूदा लिथोग्राफी मशीनें अभी भी उन्नत प्रक्रियाओं की सिकुड़न मांग का समर्थन करने के लिए पर्याप्त हैं। टीएसएमसी को कार्रवाई करने से पहले हाई-एनए ईयूवी के आर्थिक खातों के अधिक लागत प्रभावी होने तक इंतजार करने का विश्वास है।
टीएसएमसी को सितंबर 2024 की शुरुआत में अपनी पहली हाई-एनए ईयूवी लिथोग्राफी मशीन प्राप्त हुई और अगली पीढ़ी की प्रक्रिया के लिए बुनियादी लिथोग्राफी तकनीक विकसित करने के लिए इसे आर एंड डी केंद्र में रखा गया।वेई झेजिया का मानना है कि अनुसंधान एवं विकास की तैयारी पहले से शुरू करने से भविष्य में उत्पादन में लगाए जाने पर विश्वसनीय उपज और आउटपुट दक्षता सुनिश्चित की जा सकती है।
हालाँकि, उन्होंने स्वीकार किया कि इस 400 मिलियन डॉलर के उपकरण को वास्तव में उपयोग में लाने में कुछ समय लगेगा। इंटेल जैसे प्रतिस्पर्धियों ने पहले ही हाई-एनए ईयूवी को बड़े पैमाने पर उत्पादन कार्यक्रम में डाल दिया है, जबकि टीएसएमसी ने पहले विकास करने और फिर इसे उत्पादन में डालने का अधिक विश्वसनीय मार्ग चुना है, जो इसके लगातार लागत अनुशासन के अनुरूप है।
वेई झेजिया ने भविष्यवाणी की है कि हाई-एनए ईयूवी स्वाभाविक रूप से उस बिंदु पर उत्पादन प्रणाली में प्रवेश करेगा जब बेहतर लाइन चौड़ाई प्राप्त करने के लिए वास्तव में एकल एक्सपोज़र की आवश्यकता होती है और वेफर लागत प्रतिस्पर्धी हो जाती है।
