हाल ही में, राष्ट्रीय बौद्धिक संपदा प्रशासन ने इसकी घोषणा कीहुआवेई टेक्नोलॉजीज कंपनी लिमिटेड ने "वेफर प्रोसेसिंग डिवाइस और वेफर प्रोसेसिंग मेथड" शीर्षक वाले पेटेंट के लिए आवेदन किया और उसे मंजूरी दे दी गई। प्रकाशन संख्या CN117219552A है, और आवेदन की तारीख जून 2022 है। पेटेंट सार से पता चलता है कि वर्तमान प्रकटीकरण के अवतार वेफर प्रसंस्करण उपकरण और वेफर प्रसंस्करण विधियों से संबंधित हैं।
वेफर प्रसंस्करण उपकरण में शामिल हैं: एक वेफर वाहक, जो घूर्णन अक्ष के साथ घूम सकता है; वेफर को परिवहन करने और वेफर वाहक पर वेफर रखने के लिए एक रोबोटिक हाथ, जिसमें एक रोबोट हाथ भी शामिल है; एक नियंत्रक; और एक अंशांकन घटक।
इसमें शामिल हैं: वेफर चरण के सापेक्ष तय की गई एक झंझरी प्लेट; झंझरी प्लेट के सापेक्ष तय किया गया एक प्रकाश स्रोत; और एक इमेजिंग तत्व निश्चित रूप से यांत्रिक भुजा पर प्रदान किया जाता है और प्रकाश स्रोत से उत्सर्जित प्रकाश प्राप्त करने और झंझरी प्लेट के माध्यम से प्रसारित करने के लिए अनुकूलित किया जाता है।
वहीं, नियंत्रक को इमेजिंग तत्व द्वारा प्राप्त प्रकाश का पता लगाने के आधार पर वेफर की स्थिति को समायोजित करने के लिए रोबोटिक बांह या रोबोटिक बांह पर एक समायोजन उपकरण को नियंत्रित करने के लिए कॉन्फ़िगर किया गया है।
जब वेफर वाहक वेफर ले जाता है, तो झंझरी प्लेट और इमेजिंग तत्व क्रमशः विमान के विपरीत किनारों पर स्थित होते हैं जहां वेफर वाहक की ऊपरी सतह स्थित होती है, और ऊपरी सतह का उपयोग वेफर को ले जाने के लिए किया जाता है।
वर्तमान प्रकटीकरण के अवतारों द्वारा प्रदान किए गए उपकरण और तरीके वेफर संरेखण दक्षता और संरेखण सटीकता में सुधार कर सकते हैं।
बताया गया है कि 2022 के अंत तक, हुआवेई के पास 120,000 से अधिक वैध अधिकृत पेटेंट हैं, जो मुख्य रूप से चीन, यूरोप, अमेरिका, एशिया प्रशांत, मध्य पूर्व और अफ्रीका में वितरित किए गए हैं।
उनमें से, हुआवेई के पास चीन और यूरोप प्रत्येक में 40,000 से अधिक पेटेंट हैं, और संयुक्त राज्य अमेरिका में 22,000 से अधिक पेटेंट हैं।